Tiefenprofile

Die häufigsten Anwendungen einer SIMS Analyse sind Tiefenprofile. In der nachfolgenden Abbildung sieht man ein Implantationsprofil, Phosphor in Silizium, das bei hoher Empfindlichkeit und Auflösung über einen großen dynamischen Bereich gemessen worden ist. Tiefenprofile lassen sich mit SIMS sehr effektiv erstellen (Bild: © CAMECA).

Laterale Verteilung

Nebenstehende Abbildung zeigt die Verteilung des Sauerstoffisotops ¹⁸O in NiO über einen Durchmesser von 150µm. Die Integrationszeit lag für ¹⁸O bei einer Sekunde. (Bild: © CAMECA).

Massenspektrum

Massenspektren werden durch Registrierung der Meßimpulse bei gleichzeitigem Durchfahren des gewählten Massenbereiches gewonnen. Im Massenspektrum des NBS-Stahlstandards 449 sind die Elemente mit Konzentrationen deutlich unter einem Gewichtsprozent, wie Si, V, Cu, Nb, Mo, Ta und W noch klar zu identifizieren. Inhomogenitäten in der örtlichen Verteilung lassen sich in Verteilungsbildern nachweisen Die Isotopenhäufigkeitsbestimmungen erleichtern die Elementidentifizierung bzw. werden bei Traceranalysen ausgewertet.