Anwendungsbeispiele

Die Sekundärionenmassenspektrometrie gehört zu den etablierten Analysetechniken der Materialuntersuchung. Für die Erstellung von Tiefenprofilen wird SIMS als Standardverfahren eingesetzt.  Oberflächennahe Untersuchungen erfassen einen typischen Bereich von 1nm bis 20µm und haben eine laterale Ausdehnung von 50µm bis 500µm. Quantitative Analysen im Massenbereich von Wasserstoff bis Uran erlauben eine Bewertung der Materialgüte von Festkörpern. Neben Tiefenprofilen ermöglichen Oberflächenbilder mit einer lateralen Auflösung im µm-Bereich eine genaue Einschätzung der Materialstruktur. Die Spektrometer der Firma CAMECA können Konzentrationen bis in den ppb-Bereich im Material nachweisen.