SIMS
Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS)
Die Sekundärionenmassenspektrometrie gehört zu den etablierten Analysetechniken der Materialuntersuchung. Für die Erstellung von Tiefenprofilen wird SIMS als Standardverfahren eingesetzt. Oberflächennahe Untersuchungen erfassen einen typischen Bereich von wenigen Nanometern bis etwa 20 μm und haben eine laterale Ausdehnung von 50 μm bis 500μm. Konzentrationsbestimmungen (quantitative Analysen) aller Elemente im Massenbereich von Wasserstoff bis Uran erlauben eine Bewertung der Materialgüte von Festkörpern. Neben Tiefenprofilen ermöglichen Oberflächenbilder mit einer lateralen Auflösung im μm-Bereich eine genaue Einschätzung der Materialstruktur. Zudem kann die räumliche Elementverteilung bestimmt und mit bildgebenden Verfahren sichtbar gemacht werden. Mit den Spektrometern der Firma Cameca können Elemente noch in Konzentrationen im ppb-Bereich nachgewiesen werden.