Stärken
- Hohe Empfindlichkeiten
- Sehr niedrige Nachweisgrenzen (ppm und niedriger)
- Tiefenprofile mit sehr guter Tiefenauflösung (1 nm) bei niedrigen Nachweisgrenzen
- Nachweis aller Elemente im Massenbereich von 1H bis 238U
- Gutes laterales Auflösungsvermögen (1 µm)
- Hohe Dynamik (6 Größenordnungen)
Einschränkungen
- Zerstörung der Probenoberfläche
- Mixing- und Recoilprozesse
- Topografieeffekte, Rauigkeit
- Starke Variation der Ionisierungsquerschnitte
- Matrixabhängigkeit der Nachweisempfindlichkeit
- Keine Informationen über chemische Bindungen
- Notwendigkeit fester und vakuumbeständiger Proben
10. September 2019
RTG Mikroanalyse GmbH Berlin
